JC/T2243-2014等离子体增强化学气相沉积工艺用覆膜石英管

本标准规定了等离子体增强化学气相沉积工艺用覆膜石英管的术语和定义、材料、要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。本标准适用于板式等离子体增强化学气相沉积工艺用覆膜石英管。

标准号：JC/T 2243-2014

标准名称：等离子体增强化学气相沉积工艺用覆膜石英管

英文名称：Quartz tube covered in a film for PECVD

标准类型：行业标准

标准性质：推荐性

标准状态：现行

发布日期：2014-10-14

实施日期：2015-04-01

中国标准分类号（CCS）：建材>>陶瓷、玻璃>>Q35石英玻璃

国际标准分类号（ICS）：玻璃和陶瓷工业>>玻璃>>8104030玻璃产品

起草单位：上海强华石英有限公司、久智光电子材料科技有限公司、上海神舟新能源发展有限公司

归口单位：全国工业玻璃和特种玻璃标准化技术委员会(SAC/TC 447)

发布单位：工业和信息化部