JC/T2372-2016集成电路用石英舟

本标准规定了集成电路用石英舟的术语和定义、分类和标记、材料、要求、试验方法、标志、清洗、包装、运输和贮存。本标准适用于集成电路制造工艺用8英寸及以下的石英舟制品，包含立式石英舟及卧式石英舟。

标准号：JC/T 2372-2016

标准名称：集成电路用石英舟

标准类型：行业标准

标准性质：推荐性

标准状态：现行

发布日期：2016-07-11

实施日期：2017-01-01

发布单位：工业和信息化部