SJ/T10152-1991集成电路主要工艺设备术语
标准号：SJ/T 10152-1991
标准名称：集成电路主要工艺设备术语
英文名称：Terms relating to main equipment for integrated circuit technologies
标准类型：行业标准
标准性质：推荐性
标准状态：现行
发布日期：1991-04-02
实施日期：1991-07-01
中国标准分类号（CCS）：医药、卫生、劳动保护>>医药、卫生、劳动保护综合>>C01技术管理
SJ/T10150-1991电子器件图形库电阻器、电容器、电感器图形
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SJ/T10151-1991电子产品设计文件的标准化检查
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SJ/T10152-1991集成电路主要工艺设备术语
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