SJ/T10274-1991掩模对准曝光机测试方法
标准号:SJ/T 10274-1991
标准名称:掩模对准曝光机测试方法
英文名称:Test methods of mask alignment and exposure system
标准类型:行业标准
标准性质:推荐性
标准状态:现行
发布日期:1991-11-12
实施日期:1992-01-01
中国标准分类号(CCS):医药、卫生、劳动保护>>医药、卫生、劳动保护综合>>C01技术管理
标准号:SJ/T 10274-1991
标准名称:掩模对准曝光机测试方法
英文名称:Test methods of mask alignment and exposure system
标准类型:行业标准
标准性质:推荐性
标准状态:现行
发布日期:1991-11-12
实施日期:1992-01-01
中国标准分类号(CCS):医药、卫生、劳动保护>>医药、卫生、劳动保护综合>>C01技术管理