SJ/T10583-1994气体质量流量控制器通用技术条件

本标准规定了气体质量流量控制器的技术要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输、贮存。本标准适用于采用毛细管传热温差量热法原理进行测量的气体质量流量控制器（以下简称控制器）。该控制器广泛应用于半导体集成电路工艺设备、光纤熔炼，以及化工、冶金、卫生等部门。

标准号：SJ/T 10583-1994

标准名称：气体质量流量控制器通用技术条件

英文名称：General specification for gas mass flow controller

标准类型：行业标准

标准性质：推荐性

标准状态：作废

发布日期：1994-08-08

实施日期：1994-12-01

中国标准分类号（CCS）：电子元器件与信息技术>>电子工业生产设备>>L98检验装用设备

替代以下标准：被SJ/T 10583-2016代替

起草单位：北京建中机器厂

归口单位：电子工业部标准化研究所

发布单位：电子工业部