SJ/T11131-1997蒸发镀膜设备基本参数系列

本标准规定了蒸发镀膜设备基本参数系列。本标准适用于极限压力为3 x 10-3P二一5 x ]0-6P:范围内的钟罩式和箱式蒸发镀膜设备。

标准号：SJ/T 11131-1997

标准名称：蒸发镀膜设备基本参数系列

英文名称：Basic parameter series of evaporation plating equipment

标准类型：行业标准

标准性质：推荐性

标准状态：现行

发布日期：1997-09-03

实施日期：1998-01-01

中国标准分类号（CCS）：医药、卫生、劳动保护>>医药、卫生、劳动保护综合>>C01技术管理

国际标准分类号（ICS）：电子学>>31020电子元件综合

替代以下标准：SJ 1098-77 SJ 1099-77

起草单位：成都南光实业股份有限公司

归口单位：电子工业部标准化研究所

发布单位：电子工业部