SJ/T11275-2002卧式液相外延系统通用规范

本规范规定了卧式液相外延系统的术语、产品型号及命名方法、技术要求、试验方法、检验规则以及包装、运输、贮存。本规范适用于电子行业光电子器件研制、生产工艺中的卧式液相外延系统。其他行业的类似设备亦可参照执行。

标准号：SJ/T 11275-2002

标准名称：卧式液相外延系统通用规范

英文名称：Generic specification for horizontal liquid phase epitaxial system

标准类型：行业标准

标准性质：推荐性

标准状态：现行

发布日期：2002-10-30

实施日期：2003-03-01

中国标准分类号（CCS）：电子元器件与信息技术>>电子设备专用材料、零件、结构件>>L92电子设备用绝缘零件

国际标准分类号（ICS）：电气工程>>29260特殊工作条件用电气设备

起草单位：中国电子科技集团公司第四十八所