SJ/T11552-2015以布鲁斯特角入射P偏振辐射红外吸收光谱法测量硅中间隙氧含量
本标准规定了以布鲁斯特角入射P偏振辐射红外吸收光谱法测量硅中间隙氧含量的方法。
标准号：SJ/T 11552-2015
标准名称：以布鲁斯特角入射P偏振辐射红外吸收光谱法测量硅中间隙氧含量
标准类型：行业标准
标准性质：推荐性
标准状态：现行
发布日期：2015-10-10
实施日期：2016-04-01
发布单位：工业和信息化部
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