SJ/T31067-1994S枪磁控溅射台完好要求和检查评定方法

标准号:SJ/T 31067-1994
标准名称: S*磁控溅射台完好要求和检查评定方法
英文名称:Requirements of readiness and methods of inspection and assessment for S-gun magnetron sputtering coaters
标准类型:行业标准
标准性质:推荐性
标准状态:作废
中国标准分类号(CCS):L97
国际标准分类号(ICS):31-550
