SJ/T31068-1994离子注入机完好要求和检查评定方法

标准号:SJ/T 31068-1994
标准名称: 离子注入机完好要求和检查评定方法
英文名称:Requirements of readiness and methods of inspection and assessment for ion implantation machines
标准类型:行业标准
标准性质:推荐性
标准状态:作废
中国标准分类号(CCS):L97
国际标准分类号(ICS):31-550

标准号:SJ/T 31068-1994
标准名称: 离子注入机完好要求和检查评定方法
英文名称:Requirements of readiness and methods of inspection and assessment for ion implantation machines
标准类型:行业标准
标准性质:推荐性
标准状态:作废
中国标准分类号(CCS):L97
国际标准分类号(ICS):31-550