SJ/T31068-1994离子注入机完好要求和检查评定方法

2025-06-28

标准号:SJ/T 31068-1994

标准名称: 离子注入机完好要求和检查评定方法

英文名称:Requirements of readiness and methods of inspection and assessment for ion implantation machines

标准类型:行业标准

标准性质:推荐性

标准状态:作废

中国标准分类号(CCS):L97

国际标准分类号(ICS):31-550

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