SJ/T31100-1994离子束蚀刻机完好要求和检查评定方法

标准号：SJ/T 31100-1994

标准名称： 离子束蚀刻机完好要求和检查评定方法

英文名称：Requirements of readiness and methods of inspection and assessment for ion beam etching machines

标准类型：行业标准

标准性质：推荐性

标准状态：现行

发布日期：1994-06-01

实施日期：1994-06-01

中国标准分类号（CCS）：L97

国际标准分类号（ICS）：31-550