SJ/T31113-1994DB-3型电子束曝光机完好要求和检查评定方法
标准号：SJ/T 31113-1994
标准名称： DB-3型电子束曝光机完好要求和检查评定方法
英文名称：Requirements of readiness and methods of inspection and assessment for DB-3 electron beam exposure systems
标准类型：行业标准
标准性质：推荐性
标准状态：现行
中国标准分类号（CCS）：L97
国际标准分类号（ICS）：31-550
SJ/T31112-1994WGK型微控扩散系统完好要求和检查评定方法
标准号：SJ/T 31112-1994 标准名称： WGK型微控扩散系统完好要求和检查评定方法 英文名称：Requirements of readiness and methods of inspection and assessment for WGK micro
SJ/T31110-1994AMV-1284型硅外延炉完好要求和检查评定方法
标准号：SJ/T 31110-1994 标准名称： AMV-1284型硅外延炉完好要求和检查评定方法 英文名称：Requirements of readiness and methods of inspection and assessment for AMV-1284
SJ/T31111-1994AMC-7811/21型桶式外延炉完好要求和检查评定方法
标准号：SJ/T 31111-1994 标准名称： AMC-7811/21型桶式外延炉完好要求和检查评定方法 英文名称：Requirements of readiness and methods of inspection and assessment for AMC
SJ/T31113-1994DB-3型电子束曝光机完好要求和检查评定方法
标准号：SJ/T 31113-1994 标准名称： DB-3型电子束曝光机完好要求和检查评定方法 英文名称：Requirements of readiness and methods of inspection and assessment for DB-3 ele
SJ/T31114-1994TY系列辊道推板窑完好要求和检查评定方法
标准号：SJ/T 31114-1994 标准名称： TY系列辊道推板窑完好要求和检查评定方法 英文名称：Requirements of readiness and methods of inspection and assessment for TY series
