SJ/T31119-1994掩膜对准曝光机完好要求和检查评定方法

标准号：SJ/T 31119-1994

标准名称： 掩膜对准曝光机完好要求和检查评定方法

英文名称：Requirements of readiness and methods of inspection and assessment for mask alignment and exposure systems

标准类型：行业标准

标准性质：推荐性

标准状态：现行

中国标准分类号（CCS）：L97

国际标准分类号（ICS）：31-550