SJ/T31121-1994JB-VⅡ型掩膜对准曝光机完好要求和检查评定方法
标准号：SJ/T 31121-1994
标准名称： JB-VⅡ型掩膜对准曝光机完好要求和检查评定方法
英文名称：Requirements of readiness and methods of inspection and assessment for JB-VⅡ mask alignment and exposure systems
标准类型：行业标准
标准性质：推荐性
标准状态：作废
中国标准分类号（CCS）：L97
国际标准分类号（ICS）：31-550
SJ/T31121-1994JB-VⅡ型掩膜对准曝光机完好要求和检查评定方法
标准号：SJ/T 31121-1994 标准名称： JB-VⅡ型掩膜对准曝光机完好要求和检查评定方法 英文名称：Requirements of readiness and methods of inspection and assessment for JB-V
SJ/T31120-1994KSM-MJB3型掩膜对准曝光机完好要求和检查评定方法
标准号：SJ/T 31120-1994 标准名称： KSM-MJB3型掩膜对准曝光机完好要求和检查评定方法 英文名称：Requirements of readiness and methods of inspection and assessment for KS
SJ/T31122-1994四探针测试仪完好要求和检查评定方法
标准号：SJ/T 31122-1994 标准名称： 四探针测试仪完好要求和检查评定方法 英文名称：Requirements of readiness and methods of inspection and assessment for four-point pro
SJ/T31123-1994自动多探针测试台完好要求和检查评定方法
标准号：SJ/T 31123-1994 标准名称： 自动多探针测试台完好要求和检查评定方法 英文名称：Requirements of readiness and methods of inspection and assessment for automatic
SJ/T31124-1994AEC-2200型常压CVD完好要求和检查评定方法
标准号：SJ/T 31124-1994 标准名称： AEC-2200型常压CVD完好要求和检查评定方法 英文名称：Requirements of readiness and methods of inspection and assessment for AEC-2200
