SJ/T31153-1994超高真空无油排气台完好要求和检查评定方法

标准号：SJ/T 31153-1994

标准名称： 超高真空无油排气台完好要求和检查评定方法

英文名称：Requirements of readiness and methods of inspection and assessment for oil-free ultra-high vacuum exhaust stations

标准类型：行业标准

标准性质：推荐性

标准状态：作废

中国标准分类号（CCS）：L97

国际标准分类号（ICS）：31-550