SJ/T31273-1994EVP-13480型磁控溅射机完好要求和检查评定方法
标准号：SJ/T 31273-1994
标准名称： EVP-13480型磁控溅射机完好要求和检查评定方法
英文名称：Requirements of readiness and methods of inspection and assessment for EVP-13480 magnetron sputtering machines
标准类型：行业标准
标准性质：推荐性
标准状态：现行
中国标准分类号（CCS）：L97
国际标准分类号（ICS）：31-550
SJ/T31270-1994MTD-2000型电阻平衡机完好要求和检查评定方法
标准号：SJ/T 31270-1994 标准名称： MTD-2000型电阻平衡机完好要求和检查评定方法 英文名称：Requirements of readiness and methods of inspection and assessment for MTD-20
SJ/T31273-1994EVP-13480型磁控溅射机完好要求和检查评定方法
标准号：SJ/T 31273-1994 标准名称： EVP-13480型磁控溅射机完好要求和检查评定方法 英文名称：Requirements of readiness and methods of inspection and assessment for EVP-1
SJ/T31274-1994自动被银机完好要求和检查评定方法
标准号：SJ/T 31274-1994 标准名称： 自动被银机完好要求和检查评定方法 英文名称：Requirements of readiness and methods of inspection and assessment for automatic silver
SJ/T31271-1994ISM-14型割片机完好要求和检查评定方法
标准号：SJ/T 31271-1994 标准名称： ISM-14型割片机完好要求和检查评定方法 英文名称：Requirements of readiness and methods of inspection and assessment for ISM-14 wafer
SJ/T31272-1994LM-2型研磨机完好要求和检查评定方法
标准号：SJ/T 31272-1994 标准名称： LM-2型研磨机完好要求和检查评定方法 英文名称：Requirements of readiness and methods of inspection and assessment for LM-2 grinding
