SJ/Z1610-1980硅外延片缺陷图集

标准号：SJ/Z 1610-1980

标准名称：硅外延片缺陷图集

英文名称：Defect graph for silicon epitaxial wafers

标准类型：行业标准

标准性质：指导性技术文件

标准状态：作废

发布日期：1980-05-27

实施日期：1980-05-27

中国标准分类号（CCS）：>>>>H8  电子元器件与信息技术>>电子设备专用材料、零件、结构件>>L90电子技术专用材料