SJ1098-1977高真空蒸发设备参数系列

标准号：SJ 1098-1977

标准名称：高真空蒸发设备参数系列

英文名称：High-vacuum coating equipment parameters series

标准类型：行业标准

标准状态：作废

实施日期：1977-01-01

中国标准分类号（CCS）：电子元器件与信息技术>>电子工业生产设备>>L99其他生产设备

替代以下标准：被SJ/T 11131-97代替