SJ1550-1979硅外延片检测报告方法

本标准规定了N/N、P/P结构硅外延片的检测方法。其检测项目有外延层电阻率、外延层厚度、层错密度、位错密度、夹层和表面缺陷等

标准号：SJ 1550-1979

标准名称：硅外延片检测方法

英文名称：Method of inspection for silicon epitaxial wafers

标准类型：行业标准

标准状态：现行

发布日期：1980-03-01

实施日期：1980-06-01

中国标准分类号（CCS）：冶金>>半金属与半导体材料>>H81半金属

发布单位：第四机械工业部