SJ1551-79硅外延层电阻率测试方法（电容－电压法）（暂行）

标准号：SJ 1551-79

标准名称：硅外延层电阻率测试方法（电容－电压法）（暂行）

英文名称：Method of measurement for resistivity of silicon epitaxial layer (capacitance-voltage method) (Provisional)

标准类型：行业标准

标准状态：现行

发布日期：1980-03-01

实施日期：1980-06-01

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