SJ1780-1981普通二极型溅射离子泵技术条件

标准号：SJ 1780-1981

标准名称：普通二极型溅射离子泵 技术条件

英文名称：Ordinary two-electrode sputtering ion pump-Performance specification

标准类型：行业标准

标准状态：现行

发布日期：1981-03-27

实施日期：1981-08-01

中国标准分类号（CCS）：医药、卫生、劳动保护>>医药、卫生、劳动保护综合>>C01技术管理