SJ1794-1981半导体器件生产用扩散炉通用技术条件

标准号：SJ 1794-1981

标准名称：半导体器件生产用扩散炉通用技术条件

英文名称：General specification for diffusion furnace for semiconductor device manufacturing

标准类型：行业标准

标准状态：现行

发布日期：1981-10-01

实施日期：1981-10-01

中国标准分类号（CCS）：医药、卫生、劳动保护>>医药、卫生、劳动保护综合>>C01技术管理