SJ20514-1995微波功率晶体管用硅外延片规范

标准号：SJ 20514-1995

标准名称：微波功率晶体管用硅外延片规范

英文名称：Specification for silicon epitaxial wafer for microwave power transistor

标准类型：行业标准

标准状态：现行

发布日期：1995-05-25

实施日期：1995-12-01

中国标准分类号（CCS）：机械>>机械综合>>J01技术管理