SJ20518-1995压电器件用五氧化二钽薄膜规范

标准号：SJ 20518-1995

标准名称：压电器件用五氧化二钽薄膜规范

英文名称：Specification for Ta2O5 films for use in piezoelectric devices

标准类型：行业标准

标准状态：现行

发布日期：1995-05-25

实施日期：1995-12-01

中国标准分类号（CCS）：机械>>机械综合>>J01技术管理