SJ2065-1982半导体器件生产用扩散炉测试方法

标准号：SJ 2065-1982

标准名称：半导体器件生产用扩散炉测试方法

英文名称：Testing method for diffusion furnace for semiconductor device manufacturing

标准类型：行业标准

标准状态：现行

发布日期：1982-02-18

实施日期：1982-07-01

中国标准分类号（CCS）：医药、卫生、劳动保护>>医药、卫生、劳动保护综合>>C01技术管理