SJ20711-1998分步投影曝光机通用规范

标准号：SJ 20711-1998

标准名称： 分步投影曝光机通用规范

英文名称：General specification for step and repeat exposure systems

标准类型：行业标准

标准状态：现行

发布日期：1998-05-01

实施日期：1998-05-01

中国标准分类号（CCS）：N46