SJ20714-1998砷化镓抛光片亚损伤层的X射线双晶衍射试验方法

标准号：SJ 20714-1998

标准名称： 砷化镓抛光片亚损伤层的X射线双晶衍射试验方法

英文名称：Test method for sub-surface damege of gallium arsenide polished wafer by X-ray double crystal diffraction

标准类型：行业标准

标准状态：现行

发布日期：1998-05-01

实施日期：1998-05-01

中国标准分类号（CCS）：H83

国际标准分类号（ICS）：29045