SJ20744-1999半导体材料杂质含量红外吸收光谱分析通用导则

标准号:SJ 20744-1999
标准名称: 半导体材料杂质含量红外吸收光谱分析通用导则
英文名称:General rule of infrared absorption spectral analysis for the impurity concentration in semiconductor materials
标准类型:行业标准
标准状态:现行
中国标准分类号(CCS):H80
国际标准分类号(ICS):29045
