SJ20897-2003聚对二甲苯气相沉积涂敷工艺规范

标准号：SJ 20897-2003

标准名称： 聚对二甲苯气相沉积涂敷工艺规范

英文名称：Specification for coating process of poly-para-xylylene vapour deposition

标准类型：行业标准

标准状态：现行

中国标准分类号（CCS）：A29

国际标准分类号（ICS）：87020