SJ20984-2008化学气相淀积(CVD)设备通用规范

标准号：SJ 20984-2008

标准名称： 化学气相淀积(CVD)设备通用规范

英文名称：General specification for chemical vapor deposition (CVD) equipment

标准类型：行业标准

标准状态：现行

发布日期：2008-06-30

实施日期：2008-06-30

中国标准分类号（CCS）：L99

国际标准分类号（ICS）：31-550