SJ21127-2016化学机械抛光机通用规范

标准号：SJ 21127-2016

标准名称： 化学机械抛光机通用规范

英文名称：General specification for chemical mechanical polishing equipment

标准类型：行业标准

标准状态：现行

发布日期：2016-03-01

实施日期：2016-03-01

中国标准分类号（CCS）：L97