SJ2594-1985高纯四氯化硅中硼及金属杂质的化学光谱分析方法

标准号：SJ 2594-1985

标准名称： 高纯四氯化硅中硼及金属杂质的化学光谱分析方法

英文名称：Method for the analysis of boron and metalic impurities in pure SiC14-Spectro-chemical method

标准类型：行业标准

标准状态：现行

中国标准分类号（CCS）：L90

国际标准分类号（ICS）：31-030