SJ2758-1987同型外延层厚度的红外干涉测试方法

标准号：SJ 2758-1987

标准名称： 同型外延层厚度的红外干涉测试方法

英文名称：Method of measurement by infrared interference for thickness of homoepitaxial layers

标准类型：行业标准

标准状态：作废

发布日期：1987-07-01

实施日期：1987-07-01

中国标准分类号（CCS）：L90

国际标准分类号（ICS）：31-030