SJ2798-1987电子级气体中颗粒的测定方法.光散射法

标准号：SJ 2798-1987

标准名称： 电子级气体中颗粒的测定方法光散射法

英文名称：Method for determination of particles in electronic grade gases--Light scattering method

标准类型：行业标准

标准状态：作废

发布日期：1988-01-01

实施日期：1988-01-01

中国标准分类号（CCS）：L90

国际标准分类号（ICS）：31-030