XB/T515-2020钪铝合金靶材

本标准规定了钪铝合金靶材的要求、试验方法、检验规则与标志、包装、运输、贮存及质量证明书。本标准适用于铸造法制得的钪铝合金靶材，主要用于半导体及光电等领域。

标准号：XB/T 515-2020

标准名称：钪铝合金靶材

标准类型：行业标准

标准性质：推荐性

标准状态：现行

发布日期：2020-12-09

实施日期：2021-04-01

发布单位：工业和信息化部