YB1602-1983硅单晶

本标准适用于直接（CZ）法和区熔（FZ）法制备的硅单晶锭。主要供制造半导体分立元件、集成电路、电力半导体元件、探测器件和硅外延片衬底等用。

标准号：YB 1602-1983

标准名称：硅单晶

标准类型：行业标准

标准状态：现行

发布日期：1983-08-18

实施日期：1984-10-01

发布单位：冶金工业部