YS/T1031-2015化学气相沉积炉

本标准规定了化学气相沉积炉的要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输、贮存、质量证明书和合同（或订货单）内容。本标准适用于化学气相沉积。

标准号：YS/T 1031-2015

标准名称：化学气相沉积炉

英文名称：Chemical vapor deposition furnace

标准类型：行业标准

标准性质：推荐性

标准状态：现行

发布日期：2015-04-30

实施日期：2015-10-01

中国标准分类号（CCS）：冶金>>冶金机械设备>>H91炼焦、炼结设备

国际标准分类号（ICS）：冶金>>77180冶金设备

起草单位：湖南顶立科技有限公司、中国有色金属工业标准计量质量研究所

归口单位：全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC 243)

发布单位：工业和信息化部