YS/T1060-2015硅外延用三氯氢硅中其他氯硅烷含量的测定气相色谱法

本标准规定了硅外延用三氯氢硅中其他氯硅烷（包括二氯二氢硅、四氯化硅）含量的气相色谱测定方法。本标准适用于硅外延用三氯氢硅中其他氯硅烷（包括二氯二氢硅、四氯化硅）含量的测定。测定范围下限为0002%。

标准号：YS/T 1060-2015

标准名称：硅外延用三氯氢硅中其他氯硅烷含量的测定 气相色谱法

英文名称：Determination of other chlorosilane in trichlorosilane for silicon eqitaxy—Gas chromatographic method

标准类型：行业标准

标准性质：推荐性

标准状态：现行

发布日期：2015-04-30

实施日期：2015-10-01

中国标准分类号（CCS）：冶金>>金属化学分析方法>>H17半金属及半导体材料分析方法

国际标准分类号（ICS）：冶金>>金属材料试验>>7704030金属材料化学分析

起草单位：中锗科技有限公司、江苏中能硅业科技发展有限公司、昆明冶研新材料股份有限公司

归口单位：全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC 243)

发布单位：工业和信息化部