YS/T1068-2015制备钌靶用钌粉

本标准规定了磁记录及集成电路领域钌系溅射靶材用钌粉的要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输、贮存、质量证明书和合同（或订货单）内容。本标准适用于制备磁记录及集成电路领域钌系溅射靶材用钌粉。

标准号：YS/T 1068-2015

标准名称：制备钌靶用钌粉

英文名称：Ruthenium powder for ruthenium sputttering target

标准类型：行业标准

标准性质：推荐性

标准状态：现行

发布日期：2015-04-30

实施日期：2015-10-01

中国标准分类号（CCS）：冶金>>有色金属及其合金产品>>H62重金属及其合金

国际标准分类号（ICS）：冶金>>有色金属产品>>7715030铜产品

起草单位：贵研铂业股份有限公司、有色金属技术经济研究院

归口单位：全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC 243)

发布单位：工业和信息化部