YS/T1141-2016钛蒸发料

本标准规定了钛蒸发料的要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存及质量证明书与合同（或订货单）内容。本标准适用于半导体行业用的钛蒸发料。

标准号：YS/T 1141-2016

标准名称：钛蒸发料

英文名称：Evaporated titanium material

标准类型：行业标准

标准性质：推荐性

标准状态：现行

发布日期：2016-07-11

实施日期：2017-01-01

中国标准分类号（CCS）：冶金>>有色金属及其合金产品>>H64稀有轻金属及其合金

国际标准分类号（ICS）：冶金>>有色金属产品>>7715050钛产品

起草单位：有研亿金新材料有限公司、中国有色金属工业标准计量质量研究所

归口单位：全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC 243)

发布单位：工业和信息化部