YS/T1290-2018多晶硅生产尾气中硅烷含量的测定气相色谱法

本标准规定了硅烷法生产多晶硅尾气中硅烷含量的气相色谱测定方法。本标准适用于硅烷法生产多晶硅尾气中硅烷含量的测定。测定范围为0050%～1000%。

标准号：YS/T 1290-2018

标准名称：多晶硅生产尾气中硅烷含量的测定 气相色谱法

标准类型：行业标准

标准性质：推荐性

标准状态：现行

发布日期：2018-10-22

实施日期：2019-04-01

发布单位：工业和信息化部