YS/T1392-2020氯硅烷组分含量的测定气相色谱法

本标准规定了气相色谱法测定多晶硅生产用氯硅烷中各组分含量的方法。本标准适用于多晶硅生产用氯硅烷中各组分含量的测定。测定范围（体积分数）：二氯二氢硅为001 %～20 %，三氯氢硅、四氯化硅为001 %～100 %。

标准号：YS/T 1392-2020

标准名称：氯硅烷组分含量的测定 气相色谱法

标准类型：行业标准

标准性质：推荐性

标准状态：现行

发布日期：2020-12-09

实施日期：2021-04-01

发布单位：工业和信息化部