YS/T1434-2021六氯乙硅烷组分含量的测定气相色谱法

本文件规定了六氯乙硅烷中三氯氢硅、四氯化硅、六氯乙硅烷及其他组分含量的气相色谱测定方法。 本文件适用于六氯乙硅烷中三氯氢硅、四氯化硅、六氯乙硅烷及其他组分含量的测定，各组分的测定范围（质量分 数）为不小于 0001%。

标准号：YS/T 1434-2021

标准名称：六氯乙硅烷组分含量的测定气相色谱法

标准类型：行业标准

标准性质：推荐性

标准状态：现行

发布日期：2021-12-02

实施日期：2022-04-01

发布单位：工业和信息化部