YS/T1508-2021钯蒸发料

本文件规定了钯蒸发料的分类和标记、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存及随行文件和订货单内容。 本文件适用于半导体行业用的钯蒸发料。

标准号：YS/T 1508-2021

标准名称：钯蒸发料

标准类型：行业标准

标准性质：推荐性

标准状态：现行

发布日期：2021-12-02

实施日期：2022-04-01

发布单位：工业和信息化部