YS/T15-1991硅外延层和扩散层厚度测定磨角染色法

标准号：YS/T 15-1991

标准名称：硅外延层和扩散层厚度测定 磨角染色法

标准类型：行业标准

标准性质：推荐性

标准状态：作废

实施日期：1992-06-01

中国标准分类号（CCS）：冶金>>半金属与半导体材料>>H82元素半导体材料

国际标准分类号（ICS）：电气工程>>29045半导体材料

替代以下标准：被YS/T 15-2015代替