YS/T209-1994硅材料原生缺陷图谱

标准号：YS/T 209-1994

标准名称：硅材料原生缺陷图谱

标准类型：行业标准

标准性质：推荐性

标准状态：现行

发布日期：1987-06-25

实施日期：1988-03-01

中国标准分类号（CCS）：冶金>>半金属与半导体材料>>H81半金属

国际标准分类号（ICS）：电气工程>>29045半导体材料

替代以下标准：原标准号GBn 266-87

发布单位：中国有色金属工业总公