YS/T28-1992硅片包装

本 标准 规 定了硅片包装的分级、技术要求、操作、运输和贮存。本 标 准 适用于硅抛光片和硅外延片的包装。

标准号：YS/T 28-1992

标准名称：硅片包装

标准类型：行业标准

标准性质：推荐性

标准状态：作废

发布日期：1992-03-09

实施日期：1993-01-01

中国标准分类号（CCS）：冶金>>半金属与半导体材料>>H81半金属

国际标准分类号（ICS）：电气工程>>29045半导体材料

替代以下标准：被YS/T 28-2015代替

起草单位：上海第二冶炼厂

发布单位：中国有色金属工业总公