YS/T34.1-2011高纯砷化学分析方法电感耦合等离子体质谱法（ICP-MS）测定高纯砷中杂质含量

本标准规定了高纯砷中金属杂质含量的测定方法，采用电感耦合等离子质谱法测定砷中镁、铬、镍、铜、锌、银、锑、铅、铋、钠、钾、铝、钙、铁等14个杂质含量。本标准适用于99999%～9999999%高纯砷中金属杂质含量的测定。测定范围1×10-7% ～1000×10-7% 。

标准号：YS/T 341-2011

标准名称：高纯砷化学分析方法 电感耦合等离子体质谱法（ICP-MS）测定高纯砷中杂质含量

英文名称：Method for chemical analysis of the high-purity arsenic—Inductive coupling plasma mass spectrum (ICP-MS) for determinating the concentration of elements in the high-purity arsenic

标准类型：行业标准

标准性质：推荐性

标准状态：现行

发布日期：2011-12-20

实施日期：2012-07-01

中国标准分类号（CCS）：冶金>>金属化学分析方法>>H17半金属及半导体材料分析方法

国际标准分类号（ICS）：冶金>>金属材料试验>>7704030金属材料化学分析

替代以下标准：替代YS/T 341～342-1992

起草单位：峨嵋半导体材料厂、峨眉山嘉美高纯材料有限公司

归口单位：全国有色金属标准化技术委员会

发布单位：工业和信息化部