YS/T791-2012铂靶

本标准规定了铂靶的要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存及合同或订货单。本标准适用于半导体器件用的各类铂溅射靶材，其他用途的铂靶材也可参照使用。

标准号：YS/T 791-2012

标准名称：铂靶

英文名称：Platinum target

标准类型：行业标准

标准性质：推荐性

标准状态：现行

发布日期：2012-11-07

实施日期：2013-03-01

中国标准分类号（CCS）：冶金>>有色金属及其合金产品>>H68贵金属及其合金

国际标准分类号（ICS）：冶金>>有色金属>>7712099其他有色金属及其合金

起草单位：有研亿金新材料股份有限公司

归口单位：全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC 243)

发布单位：工业和信息化部