YS/T837-2012溅射靶材-背板结合质量超声波检验方法

本标准规定了溅射用靶材-背板结合质量超声纵波脉冲反射液浸法C扫描检验技术的一般方法。内容包括一般要求、检验设备、对比试块、检验过程、缺陷评定及检验报告等。本标准适用于用中间层材料结合方式（如软钎焊、硬钎焊和环氧树脂粘接等）的溅射靶材-背板结合面的孔洞、未结合、氧化物夹杂等缺陷的检验。其他用途的材料结合质量无损检测也可参照使用。

标准号：YS/T 837-2012

标准名称：溅射靶材-背板结合质量超声波检验方法

英文名称：Standard practice for ultrasonic C-scan bond evaluation of sputtering target-backing plate assemblies

标准类型：行业标准

标准性质：推荐性

标准状态：现行

发布日期：2012-11-07

实施日期：2013-03-01

中国标准分类号（CCS）：冶金>>有色金属及其合金产品>>H68贵金属及其合金

国际标准分类号（ICS）：冶金>>有色金属>>7712099其他有色金属及其合金

起草单位：有研亿金新材料股份有限公司、中国计量科学研究院、航天703所

归口单位：全国有色金属标准化技术委员会

发布单位：工业和信息化部